传感器与检测技术第06章 压电式传感器

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第6章 压电式传感器
压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原
理的传感器。它可以测量最终能变换为力的各种物理量，例如力、压力、
加速度等。
压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。近年
来压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传感器
的应用越来越广泛。
6.1 基本原理分析
6.1.1 压电效应
某些晶体，在一定方向受到外力作用时，内部将产生极化现象，相应地在晶体的两个表
面产生符号相反的电荷；当外力作用除去时，又恢复到不带电状态。当作用力方向改变时，
电荷的极性也随着改变，这种现象称为压电效应。具有压电效应的物质很多，如石英晶体、
压电陶瓷、压电半导体等。
6.1.2 石英晶体的压电效应
石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是二氧化硅单晶，属于六角晶系。图 6.1.1
是天然石英晶体的外形图，它为规则的六角棱柱体。石英晶体有三个晶轴： Z轴又称光轴，
它与晶体的纵轴线方向一致； X轴又称电轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴；
y轴又称机械轴，它垂直于两个相对的晶柱棱面。
a) b) c)
图 6.1.1 石英晶体的外形、坐标轴及切片
从晶体上沿 XYZ 轴线切下一片平行六面体的薄片称为晶体切片。当沿着 X 轴对压电晶片施
加力时，将在垂直于 X 轴的表面上产生电荷，这种现象称为纵向压电效应。沿着 y 轴施加力
的作用时，电荷仍出现在与 X 轴垂直的表面上，这称之为横向压电效应。当沿着 Z 轴方向受
力时不产生压电效应。 纵向压电效应产生的电荷为
q
xx ＝
d
xx
F
x (6-1-1)
式中，
q
xx 为垂直于
X
轴平面上的电荷，
d
xx 为压电系数，下标的意义为产生电荷的面的轴向
及施加作用力的轴向；
F
x为沿晶轴
X
方向施加的压力。
由上式看出，当晶片受到
X
向的压力作用时，
q
xx 与作用力
F
x成正比，而与晶片的几何尺
寸无关。如果作用力
F
x改为拉力时，则在垂直于
X
轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反。
横向压电效应产生的电荷为
(6-1-2)
式中，
q
XY 为了轴向施加压力，在垂直于
X
轴平面上的电荷
d
XY 为压电系数，
Y
轴向施加压
力，在垂直于
X
轴平面上产生电荷时的压电系数；
F
Y为沿晶轴 Y 方向施加的压力。
根据石英晶体的对称条件
d
XY=
d
XX ，所以
(6-1-3)
由上式可以看出，沿机械轴方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的，
式中的负号表示沿 Y轴的压力产生的电荷与沿 X轴施加压力所产生的电荷极性是相反的。
YXYXY
F
b
a
dq
YXXXY
F
b
a
dq
石英晶片受压力或拉力时，电荷的极性如图 6.1.2 所示。
a) b) c) d)
图6.1.2 晶片受力方向与电荷极性的关系
a) b) c)
图 6.1.3 石英晶体的压电效应
石英晶体在机械力的作用下为什么会在其表面产生电荷可以解释如下：
石英晶体的每一个晶体单元中，有三个硅离子和六个氧离子，正负离子分布在正六边
形的顶角上，如图 6.1.3a 所示。当作用力为零时，正负电荷相互平衡，所以外部没有带电现
象。
摘要：

第6章压电式传感器压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器。它可以测量最终能变换为力的各种物理量，例如力、压力、加速度等。压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。近年来压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传感器的应用越来越广泛。6.1基本原理分析6.1.1压电效应某些晶体，在一定方向受到外力作用时，内部将产生极化现象，相应地在晶体的两个表面产生符号相反的电荷；当外力作用除去时，又恢复到不带电状态。当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变，这种现象称为压电效应。具有压电效应的物质很多，如石英晶体、压电陶瓷、压电半导体等。6.1...

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